核心工程概览与应用背景
在半导体 8 寸与 12 寸晶圆制造的湿法清洗(RCA 清洗)、刻蚀去胶及化学机械抛光(CMP)后清洗机台中,任何微量的金属阳离子(如 Na⁺, Fe³⁺, Cu²⁺, Ca²⁺)或有机碳(TOC)析出都会导致晶圆栅极氧化层缺陷并造成整批芯片报废。JSLT® 半导体级超纯 PP 板材(Ultra-Pure Polypropylene Sheet)采用高洁净专用聚合级树脂与全无尘洁净挤出产线制造,金属离子析出量严格控制在 ppb(十亿分之一)极低水平。
一、半导体清洗机常用化学清洗液相容性
JSLT® 高纯 PP 板经权威实验室验证,耐受以下半导体主流清洗配方:
- SC-1 清洗液 (NH₄OH + H₂O₂ + H₂O, 70℃):用于去除有机颗粒与粉尘,材料无表面氧化白化;
- SC-2 清洗液 (HCl + H₂O₂ + H₂O, 75℃):用于去除金属离子污染物,板材无微观孔隙溶胀;
- 稀氢氟酸 (DHF, 0.5%~2% HF):用于去除自然氧化层,聚丙烯天然耐受 HF 腐蚀。
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